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点击了解!上海不锈钢件研磨加工公司_单面研磨

发布时间: 2020-08-28 18:59 作者:   皇冠足彩

  使用各实施例和比较例的研磨液,并按照下述步骤进行了研磨。研磨对象使用直径为3英寸、偏角为4°的经抛光的4H-SiC基板。对基板的Si面进行了研磨。作为研磨装置,使用MAT公司制造单面研磨机BC-15。安装在平板的研磨垫使用NITTA HAAS公司制造的SUBA#600。平板的转速设定为60rpm,外周部速度设定为7163cm/分钟。另外,载具转速设定为60rpm,外周部速度设定为961cm/分钟。另外,研磨时的载荷设定为3psi(约2.07×104Pa)。研磨液的供给量设定为200mL/分钟,研磨Si面一小时而求出研磨前后的质量差1。之后,对C面也以与Si面相同的条件研磨一小时,求出研磨前后的质量差2。由质量差1和质量差2以及SiC的密度(3.10g/cm3)算出C面和Si面各自的研磨速度(nm/分钟),求出C面/Si面研磨速度比。

  如图4所示,当压盘下降靠近工件时,缓冲气路开启,操作人员拧转低速调压阀ar2设置进气量,具体数值由压力表pg2显示。气体经过低速调压阀ar2、副单向阀cv5进入二位三通电磁阀yv5,二位三通电磁阀yv5导通接口c,气体经过接口c直接进入气缸右侧气室,缓解气缸下降压力,当磨盘开始转动后,缓冲气路关闭;缓冲气路工作时,根据需要开启接口e,通过二位二通电磁阀yv9、消声排气节流阀tp1排出多余气体。

  工作原理:此夹具在业界命名为“研磨游星轮”,游星轮1材质为不锈钢或者环氧树脂,厚度根据研磨机齿圈高低可以调节,一般在10-20mm,游星轮1背面(即本文中的上端面)安装有万向轮或者万向滚珠2,可以采购市场现有的粘接或者铆接在游星轮1上,游星轮1正面(本文中所述的下端面)设置材料装夹凹槽3,可以根据材料的厚度,及大小通过铣削加工,直接在游星轮1上加工成型;本发明在实际生产中的应用中,将加工片材毛坯放置在游星轮1的装夹凹槽3内,将此游星轮1搬到研磨机下盘面6相应位置,使此游星轮1与研磨机中心齿7及外齿圈4齿轮相互啮合完美,将研磨机上盘5下降,施压力F,输入合适的转速及压力,开始研磨作业,单面研磨完成,将材料取出。以此实现材料加工单面材料精确减薄工艺。

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